本研究では，微細放電加工において工具電極に高抵抗材料を用いることで，単位加工量である放電痕を微小化し，放電加工の微細化の限界を更新することを目的としている．シリコン工具電極の抵抗率が増加するに従い，放電電流ピーク値が減少し，パルス幅が長くなったため，放電痕を小さくすることができた．その結果，シリコンを工具電極として用いることで，銅電極を使用した場合よりも小さい，最小直径0.7マイクロメーターの微細軸加工に成功した．
In order to decrease the material removal per single pulse discharge, high electric resistance materials such as single-crystal silicon are used for electrodes. Experimental results show that with the silicon tool electrode, the peak value of the discharge current decreases, whereas the pulse duration increases. In addition, with increasing silicon electrode resistivity, the diameter of discharge craters decreases. As a result, the minimum diameter of rods machined using a silicon block tool electrode was 0.7 micrometers, which is smaller than the diameter obtained when using a copper tool electrode.
高抵抗材料を用いたナノ放電加工の実現に関する研究
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TE-PR-KOYANO-T-kaken 2017-5p.pdf
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