@article{weko_43976_1,
   author	 = "市川,武志 and 喜内,文晃 and 保田,洋志 and 福永,守高 and 山田,敏郎 and 古野,一裕 and 横山,敦士 and 大下,隆",
   title	 = "ワイヤーソー切削条件がシリコンウエハWarp量に及ぼす影響",
   journal	 = "精密工学会学術講演会講演論文集",
   year 	 = "2003",
   volume	 = "2003 Spring",
   number	 = "F32"
}