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Development of a planar type of modulated inductively coupled thermal plasma for uniform oxidation processing
http://hdl.handle.net/2297/48060
http://hdl.handle.net/2297/48060e19ad844-63b2-463f-93a8-2c1908492b47
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
Abstract-N-1424042009-mai-kai suan tial.pdf (2.4 MB)
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.png)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Development of a planar type of modulated inductively coupled thermal plasma for uniform oxidation processing | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| 平面型変調誘導熱プラズマの開発とその表面酸化処理への応用 | ||||||
| 著者 |
マイ, カイ シュアン ティアル
× マイ, カイ シュアン ティアル |
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| 著者別表示 |
Mai, Kai Suan Tial
× Mai, Kai Suan Tial |
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| 書誌情報 |
博士論文要旨Abstract |
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| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 13301甲第4573号 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（学術） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 金沢大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2017-03-22 | |||||
| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1088/0022-3727/49/38/385204 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 博士論文要旨Abstract 以下に掲載：Journal of Physics D: Applied Physics 49(38) pp.1-14 2016. IOPscience. 共著者：Mai Kai Suan Tial, Yasunori Tanaka, Mika Akao, Yoshihiko Uesugi, Tastuo Ishijima | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | HDL | |||||
| 関連識別子 | http://hdl.handle.net/2297/50255 | |||||
