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プラズマ化学気相成長法による多結晶及び非晶質Si-C薄膜の構造に関する研究
http://hdl.handle.net/2297/30548
http://hdl.handle.net/2297/3054869efbdc2-fac7-46c3-9647-125a6fee3d14
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Thesis-1992-Takeshita-Tetsuyoshi-126.pdf (10.2 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-10-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | プラズマ化学気相成長法による多結晶及び非晶質Si-C薄膜の構造に関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
竹下, 哲義
× 竹下, 哲義 |
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| 書誌情報 | 発行日 1992-09-30 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 取得学位: 博士(工学), 授与番号: 甲第1128号, 授与年月日: 平成4年9月30日, 授与大学: 金沢大学, 指導教員: 長谷川 誠一 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
