@misc{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00036611, author = {千葉, 忍}, month = {Sep}, note = {取得学位:博士(工学),学位授与番号:博甲第842号,学位授与年月日:平成18年9月28日}, title = {酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の形成の研究}, year = {2007} }