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Structural and electrical properties of ultrathin nitrided gate dielectrics by plasma-assisted methods
http://hdl.handle.net/2297/14625
http://hdl.handle.net/2297/1462532753523-1f06-4acb-8b68-a6d60aa68961
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kaku-2007-49.pdf (305.7 kB)
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| Item type | その他 / Others(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-10-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Structural and electrical properties of ultrathin nitrided gate dielectrics by plasma-assisted methods | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_1843 | |||||
| 資源タイプ | other | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | プラズマ援用作製法による極薄窒化ゲート絶縁膜の構造及び電気特性 | |||||
| 著者 |
郭, 若峰
× 郭, 若峰 |
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| 著者別名 | ||||||
| 値 | Guo, Ruofeng | |||||
| 書誌情報 |
博士学位論文要旨 論文内容の要旨および論文審査結果の要旨／金沢大学大学院自然科学研究科 巻 平成19年3月, p. 280-286, 発行日 2007-03-01 |
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| その他の識別子 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 000008384908 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 金沢大学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 取得学位：博士(学術)，学位授与番号：博甲第797号，学位授与年月日：平成18年3月22日,学位授与年：2006 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
