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Low-Temperature Fabrication and Evalution of PZT Thin Films by RF Reactive Sputtering Using(ZrTi+PbO)Target
http://hdl.handle.net/2297/16013
http://hdl.handle.net/2297/16013d3bd3c62-ac4f-4447-94fe-c50c6e226730
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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NA-TH-170-100-105.pdf (448.0 kB)
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| Item type | その他 / Others(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-10-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Low-Temperature Fabrication and Evalution of PZT Thin Films by RF Reactive Sputtering Using(ZrTi+PbO)Target | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_1843 | |||||
| 資源タイプ | other | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | (ZrTi+PbO)ターゲットを用いたRF反応性スパッタ法によるPZT薄膜の低温作製と評価 | |||||
| 著者 |
張, 崴暁
× 張, 崴暁 |
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| 書誌情報 |
博士学位論文要旨 論文内容の要旨および論文審査結果の要旨／金沢大学大学院自然科学研究科 巻 平成8年6月, p. 100-105, 発行日 1996-06-01 |
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| その他の識別子 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 000000299677 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 金沢大学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 取得学位：博士(工学)，学位授与番号：博甲第170号，学位授与年月日：平成8年3月25日,学位授与年：1996 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
