@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00043639, author = {Isojima, Kazuoki and Saitoh, Junji and Shima, Kazufumi and Nakayama, Akira and Adachi, Masaaki and 五十島, 一興 and 安達, 正明 and 斎藤, 潤二 and 嶋, 一史 and 中山, 彰 and 山宮, 広之 and 小林, 友博 and 杉森, 博 and 谷, 浩之}, issue = {N63}, journal = {精密工学会学術講演会講演論文集, 2004 JSPE Spring Meeting}, month = {}, note = {白色干渉を応用した三次元形状計測装置を開発した.測定法は,物体と参照鏡が作る干渉縞の位相とコントラストから形状を高精度に算出する位相シフト法を用い,位相シフト量を2n π±π /2(n:自然数)とすることにより,高速化を実現した.光源として波長の異なる2つのLEDを使用し,交互に点灯させそれぞれの波長の干渉像を取り込み,取り込んだ画像から形状を測定する.また,高精度で長ストロークな移動ステージを搭載することにより,高速・高精度な形状測定を目指す., 出版者照会後に全文公開, 金沢大学理工研究域機械工学系}, pages = {1261--1262}, title = {二波長光干渉式三次元形状計測装置}, volume = {2004 Spring}, year = {2004} }