@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00043641,
 author = {Adachi, Masaaki and Hirano, Yuuki and Kawamura, Masanori and Iwao, Yuuta and 安達, 正明 and 平野, 勇輝 and 河村, 昌範 and 岩尾, 雄太},
 issue = {C43},
 journal = {精密工学会学術講演会講演論文集, 2008 JSPE Autumn Meeting},
 month = {},
 note = {垂直走査型干渉応用形状計測技術は極小部品の高精度３次元形状計測に広く利用されている．しかし振動環境下で利用しようとすると，適正な位相シフト量への制御ができない，段差形状の場合は上面と下面を異なる時間で計測するため振動変位が誤差となる等の問題が発生し，使用できなかった．我々は走査型干渉顕微鏡に内蔵可能なリアルタイム変位計の開発を行ってきた．そして振動下でも計測できる高精度形状計測技術を開発した., 出版者照会後に全文公開, 金沢大学理工研究域機械工学系},
 pages = {195--196},
 title = {振動環境で利用できる走査型光干渉応用形状計測技術},
 volume = {2008 Autumn},
 year = {2008}
}