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  1. B. 理工学域; 数物科学類・物質化学類・機械工学類・フロンティア工学類・電子情報通信学類・地球社会基盤学類・生命理工学類
  2. b 10. 学術雑誌掲載論文
  3. 1.査読済論文(工)

顕微鏡内蔵型レーザ変位計の開発

https://doi.org/10.24517/00049986
https://doi.org/10.24517/00049986
f93606c5-8994-48d0-98c6-ef07a4022f8a
名前 / ファイル ライセンス アクション
TE-PR-ADACHI-M-457.pdf TE-PR-ADACHI-M-457.pdf (458.4 kB)
license.icon
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2018-06-15
タイトル
タイトル 顕微鏡内蔵型レーザ変位計の開発
タイトル
タイトル Develpoment of Built-in Laser Displacement Meter for Microscope
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
ID登録
ID登録 10.24517/00049986
ID登録タイプ JaLC
著者 安達, 正明

× 安達, 正明

WEKO 70213
e-Rad 50212519

安達, 正明

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平野, 勇輝

× 平野, 勇輝

WEKO 71581

平野, 勇輝

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泉澤, 俊裕

× 泉澤, 俊裕

WEKO 71582

泉澤, 俊裕

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五十島, 一興

× 五十島, 一興

WEKO 71583

五十島, 一興

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著者別表示 Adachi, Masaaki

× Adachi, Masaaki

Adachi, Masaaki

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Hirano, Yuki

× Hirano, Yuki

Hirano, Yuki

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Senzawa, Toshihiro

× Senzawa, Toshihiro

Senzawa, Toshihiro

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Isojima, Kazuoki

× Isojima, Kazuoki

Isojima, Kazuoki

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提供者所属
内容記述タイプ Other
内容記述 金沢大学理工研究域機械工学系
書誌情報 精密工学会学術講演会講演論文集
en : 2007 JSPE Autumn Meeting

巻 2007 Autumn, 号 F43, p. 457-458, 発行日 2007
NCID
識別子タイプ NCID
関連識別子 BA90159927
DOI
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.11522/pscjspe.2007A.0.457.0
出版者
出版者 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 白色干渉顕微鏡による形状測定では,所定の光路差変更毎に干渉画像を多数枚取得することが求められる.我々は振動環境下でも使える装置を開発するために,顕微鏡に内蔵できるレーザー応用高速変位計の開発を試みた.振動により光路差が変動していても,この高速変位計を用いれば,光路差が所定の値になった瞬間に白色干渉画像を取り込むことができ,3次元形状を正しく計測することが可能となるから.このレーザー応用高速変位計を開発した結果に関し報告する.
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 出版者照会後に全文公開
権利
権利情報 Copyright © The Japan Society for Precision Engineering
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
関連URI
識別子タイプ URI
関連識別子 https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/
関連名称 https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/
関連URI
識別子タイプ URI
関連識別子 http://www.jspe.or.jp/
関連名称 http://www.jspe.or.jp/
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Ver.1 2023-07-27 17:03:40.851914
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