| アイテムタイプ |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2018-06-15 |
| タイトル |
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タイトル |
顕微鏡内蔵型レーザ変位計の開発 |
| タイトル |
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タイトル |
Develpoment of Built-in Laser Displacement Meter for Microscope |
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言語 |
en |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.24517/00049986 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
安達, 正明
平野, 勇輝
泉澤, 俊裕
五十島, 一興
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| 著者別表示 |
Adachi, Masaaki
Hirano, Yuki
Senzawa, Toshihiro
Isojima, Kazuoki
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| 提供者所属 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
金沢大学理工研究域機械工学系 |
| 書誌情報 |
精密工学会学術講演会講演論文集
en : 2007 JSPE Autumn Meeting
巻 2007 Autumn,
号 F43,
p. 457-458,
発行日 2007
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| NCID |
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識別子タイプ |
NCID |
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関連識別子 |
BA90159927 |
| DOI |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.11522/pscjspe.2007A.0.457.0 |
| 出版者 |
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出版者 |
精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
白色干渉顕微鏡による形状測定では，所定の光路差変更毎に干渉画像を多数枚取得することが求められる．我々は振動環境下でも使える装置を開発するために，顕微鏡に内蔵できるレーザー応用高速変位計の開発を試みた．振動により光路差が変動していても，この高速変位計を用いれば，光路差が所定の値になった瞬間に白色干渉画像を取り込むことができ，３次元形状を正しく計測することが可能となるから．このレーザー応用高速変位計を開発した結果に関し報告する. |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
出版者照会後に全文公開 |
| 権利 |
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権利情報 |
Copyright © The Japan Society for Precision Engineering |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 関連URI |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ |
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関連名称 |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ |
| 関連URI |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
http://www.jspe.or.jp/ |
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関連名称 |
http://www.jspe.or.jp/ |
TE-PR-ADACHI-M-457.pdf (458.4 kB)
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