@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00043649, author = {Endou, Masaru and Adachi, Masaaki and 遠藤, 大 and 安達, 正明}, issue = {M67}, journal = {精密工学会学術講演会講演論文集, 2015 JSPE Autumn Conference}, month = {}, note = {光軸方向に光路差変動が存在する状況下でも使える,波長変更を用いる粗面物体の三次元形状計測法をこれまで研究してきた.しかし,外乱の影響としては光軸方向だけでなく面内方向の振動も存在する.ここでは,実際に測定物を面内方向にランダム振動させた状態で三次元形状計測を試み,振動による影響とその改善方法の検討結果を報告する., 出版者照会後に全文公開, 金沢大学理工研究域機械工学系}, pages = {775--776}, title = {波長変更干渉計を用いた三次元形状計測における面内方向振動の影響とその改善法}, volume = {2015 Autumn}, year = {2015} }