@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00043651,
 author = {Adachi, Masaaki and Kawamura, Masanori and Iwao, Yuuta and 安達, 正明 and 河村, 昌範 and 岩尾, 雄太},
 issue = {K37},
 journal = {精密工学会学術講演会講演論文集, 2009 JSPE Spring Meeting},
 month = {},
 note = {干渉顕微鏡を用いた垂直走査型３Ｄ形状計測では観察面を一定量高精度に垂直移動させながら干渉画像を取得する必要がある．この方法を振動環境下でも使用したいと考える．そこで顕微鏡観察下の粗面の垂直変位量をラインカメラで高精度に計測する手法を研究した．実験では垂直走査しながら２Ｄカメラを用いて干渉像を連続取込みし，複数線上の光強度を抜き出し，抜き出し位置による変位測定値の違いが最小になる処理方法を追求した., 出版者照会後に全文公開, 金沢大学理工研究域機械工学系},
 pages = {807--808},
 title = {干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定},
 volume = {2009 Spring},
 year = {2009}
}