@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00043670,
 author = {Hashimoto, Yohei and Kadono, Ryota and Furumoto, Tatsuaki and Kayano, Tomohiro and Hosokawa, Akira and 橋本, 洋平 and 近藤, 亮太 and 古本, 達明 and 小谷野, 智広 and 細川, 晃},
 issue = {E80},
 journal = {精密工学会学術講演会講演論文集, 2016 JSPE Spring Conference},
 month = {},
 note = {ウェハ製造に用いられる両面研磨加工において，加工現象の理解に重要であるウェハ挙動は未だ解明されていない．これに対し，本研究では，ウェハと上下の定盤，キャリアとの接触により生じる力とモーメントのつりあいに着目した，ウェハ挙動の解析技術の開発を行う．本報では，上下の定盤との接触により生じる圧力分布を一様とした条件において解析を行い，研磨条件によるウェハ挙動の違いを明らかにする., 出版者照会後に全文公開, 金沢大学理工研究域機械工学系},
 pages = {375--376},
 title = {両面研磨におけるウェハ挙動の解析技術の開発},
 volume = {2016 Spring},
 year = {2016}
}