@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00043677,
 author = {Kurobe, Toshiji and Morita, Tomoyuki and Yamamoto, Motoharu and 黒部, 利次 and 森田, 知之 and 山本, 資治},
 issue = {F06},
 journal = {精密工学会学術講演会講演論文集, 2003 JSPE Autumn Meeting},
 month = {},
 note = {平均粒径5nmのダイヤモンドを用いて電気泳動法により粘弾性砥石を作製し，それを用いてシリコンウエハの精密研磨加工を行った.その結果，砥石は研磨能力を有していることが明らかとなった., 出版者照会後に全文公開, 金沢大学理工研究域機械工学系},
 pages = {247--247},
 title = {超微細ダイヤモンド粘弾性砥石によるシリコンウエハの研磨},
 volume = {2003 Autumn},
 year = {2003}
}