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超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用
https://doi.org/10.24517/00051981
https://doi.org/10.24517/00051981efd0f3b9-5e71-4d50-b4a7-f4ed6e5dcd30
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-HARUKI-M-kaken 2013-4p.pdf (533.3 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-08-24 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Clarification of production mechanism of polyimide in supercritical carbon dioxide and application to microfabrication technique | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00051981 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
春木, 将司
× 春木, 将司 |
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| 書誌情報 |
平成24(2012)年度 科学研究費補助金 若手研究(B) 研究成果報告書 en : 2012 Fiscal Year Final Research Report 巻 2011-2012, p. 4p., 発行日 2016-05-22 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 金沢大学理工研究域機械工学系 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 本研究では、まず、超臨界二酸化炭素中においてポリイミド中間体であるポリアミド酸生成時における流体相状態の変化を明らかにするとともに、重合条件と生成ポリアミド酸の分子量の関係を明らかにした。さらに、高圧ポリイミド微細加工装置を新規開発し、超臨界二酸化炭素中における操作条件とポリイミド薄膜成膜速度ならびに膜形状の関係を明らかにした。また、微細加工を付した基板上への埋め込みについて検討した。 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | In the present work, the changes of phase behaviors were clarified during reaction of production of polyamic acid, which is intermediate of polyimide, in supercritical carbon dioxide. And the relationship between the polymerization condition and the molecular weight of produced polyamic acid. Moreover, the high-pressure apparatus for microfabrication of polyimide was newly developed, and the relationships operating condition, deposition rate and morphology of polyimide thin film were clarified. Finally, the implantation of polyimide into the microscopic space on the surface of the substrate was discussed. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:23760722, 研究期間(年度):2011-2012 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「超臨界二酸化炭素中のポリイミド生成挙動解明と微細加工技術への応用」課題番号23760722 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-23760722/23760722seika/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=90432682 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=90432682 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760722/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760722/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-23760722/23760722seika/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-23760722/23760722seika/ | |||||
