@techreport{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00046222,
 month = {Jun},
 note = {シールド機構を備えた原子間力顕微鏡（AFM）を開発し、それにより液中AFMの安定性および力分解能を改善した。電子顕微鏡観察用の窒化シリコンメンブレンに集束イオンビームにより微小な穴を設け、そこを通して探針のみを液中に浸漬することを可能とした。また、カンチレバーとメンブレンとの接触を避けるために、カンチレバーに比較的長いクオーツ探針を接着し、さらにその先端に電子線堆積（EBD）カーボン探針を作製した。これらの工夫により、探針のみを浸漬した状態での原子分解能観察を実現し、力分解能を3倍程度改善した。この技術は、気体発生環境下での安定な計測や、電位分布計測技術の定量性改善に有用であると期待される。, We have developed atomic force microscope (AFM) with a shielding mechanism and improved its stability and force resolution. We fabricated a small hole in a silicon nitride membrane that was originally designed for electron microscopy by focused ion beam. By inserting a probe into liquid through this hole, we enabled to immerse only the tip apex into liquid. To avoid the contact between the cantilever and the membrane, we used a thin quartz probe glued on the cantilever and fabricated an electron beam deposited tip on the probe apex. With these efforts, we enabled atomic-resolution imaging in liquid by immersing only the tip apex into liquid and improved the force resolution by ~3 times. The developed mechanism is useful for improving the stability in the measurements of gas-generating samples and the quantitative capability of the potential measurements., 研究課題/領域番号:26600095, 研究期間(年度):2014-04-01 - 2017-03-31, 出典：「窒化シリコンメンブレンを用いた力検出器による液中原子間力顕微鏡の飛躍的性能向上」研究成果報告書　課題番号26600095
（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所））
（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-26600095/26600095seika/)を加工して作成, 金沢大学新学術創成研究機構ナノ生命科学研究所},
 title = {窒化シリコンメンブレンを用いた力検出器による液中原子間力顕微鏡の飛躍的性能向上},
 year = {2017}
}