| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article_04(1) |
| 公開日 |
2019-05-09 |
| タイトル |
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タイトル |
干渉顕微鏡内蔵型レーザー変位計 |
| タイトル |
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タイトル |
Laser displacement measurement built in interference microscope |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.24517/00052918 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
藤本, 健太
安達, 正明
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| 著者別表示 |
Fujimoto, Kenta
Adachi, Masaaki
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| 提供者所属 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
金沢大学理工研究域機械工学系 |
| 書誌情報 |
精密工学会学術講演会講演論文集
en : 2005 JSPE Autumn Meeting
巻 2005 Autumn,
号 K47,
p. 919-920
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| NCID |
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識別子タイプ |
NCID |
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関連識別子 |
BA90159927 |
| DOI |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.11522/pscjspe.2005A.0.919.0 |
| 出版者 |
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出版者 |
精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
白色干渉顕微鏡を用いる3次元形状計測法では,測定対象物と光源との距離の変化を正確に知る必要がある.そこで我々は,レーザーを2分割し,一方を測定対象物に照射し,もう一方を参照光として用い,その干渉光の変化から移動量を正確に求める方法の開発を目指した. |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
With white light interferometry interference peak, envelope peak, is used to identify as zero–position of an optical path difference. To measure 3–D shape of an object with the interferometry scanned z–length of a reference mirror must be measured and be used for height calculation. We propose a laser displacement meter which would be able to measure z–displacement of the mirror from the object and be built in an interference microscope. As an optical axis of the meter can be adjusted to be same as that of the interference microscope, the Abbe error does not arise. Beside, vertical vibration of the object would not make error. Phase information have been extracted from intensity change of interfered laser light and used to calculate the scanned length of the mirror. |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
出版者照会後に全文公開 |
| 権利 |
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権利情報 |
2005 |
| 権利 |
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権利情報 |
Copyright © The Japan Society for Precision Engineering |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 関連URI |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ |
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関連名称 |
https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ |
| 関連URI |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
http://www.jspe.or.jp/ |
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関連名称 |
http://www.jspe.or.jp/ |
TE-PR-ADACHI-M-919.pdf (338.1 kB)
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