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ホロカソード放電型スパッタ装置によるフリーカーボン含有高潤滑コーティング膜の創成
https://doi.org/10.24517/00053770
https://doi.org/10.24517/00053770b363afea-8d28-461b-a146-493ebbd9c96f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-HOSOKAWA-A-kaken 2015B-5p.pdf (697.8 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-03-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ホロカソード放電型スパッタ装置によるフリーカーボン含有高潤滑コーティング膜の創成 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Creation of high Lubricating film containing free carbon by hollow cathode discharge spattering coating equipment | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00053770 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
細川, 晃
× 細川, 晃 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域機械工学系 | |||||
| 書誌情報 |
平成26(2014)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 en : 2014 Fiscal Year Final Research Report 巻 2012-04-01 - 2015-03-31, p. 5p., 発行日 2015-06-09 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | “ホローカソード放電型スパッタ装置(HCD)”と同等の機能を有しながら，機能性・拡張性に富む “アーク放電収束プラズマ輸送型イオンプレーティング装置(VACS-100)”を用い，ドロップレットがほとんどない極めて平滑なコーティング膜の生成に成功した．FAD(Filtered Arc Deposition)法を成膜原理とするこの装置で生成したTiN膜は，通常のAIP法やHCD法に比べて膜硬度や密着性に優れており，この膜をコーティングしたエンドミルは，プリハードン鋼(JIS SUS420J2)の乾式側面切削において良好な耐摩耗性と切削性を示した． | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Availability of the TiN-coated film deposited by Filtered Arc Deposition (FAD) method is investigated. In FAD method, the extremely smooth surface is formed without any droplets (macro particles) due to the magnetic filtering. The mechanical properties such as hardness, adhesion strength and friction coefficient of coated film depend considerably on the deposition conditions. The TiN-coated end mill has good mechanical properties such as hardness and adhesion strength when the bias voltage is -50 V with N2 flow rate of 20 cc/min, and this tool is effective in high speed milling of prehardened steel (JIS SUS420J2) than commercially available AIP and HCD (Hollow cathode discharge) tools. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:24360054, 研究期間(年度):2012-04-01 - 2015-03-31 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「ホロカソード放電型スパッタ装置によるフリーカーボン含有高潤滑コーティング膜の創成」課題番号24360054 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-24360054/24360054seika/)を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=40199493 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=40199493 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24360054/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24360054/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-24360054/24360054seika/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-24360054/24360054seika/ | |||||
