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物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用
https://doi.org/10.24517/00059638
https://doi.org/10.24517/00059638a9efa789-404e-4fa4-82bc-19923457ac21
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-IWAMORI-S-kaken 2012-6p.pdf (381.9 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-11-02 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Characterization of gas adsorption thin film prepared by physical vapor deposition methods and application for gas sensors | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00059638 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
岩森, 暁
× 岩森, 暁 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 東海大学 / 金沢大学理工学域機械工学系 | |||||
| 書誌情報 |
平成23(2011)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書 en : 2011 Fiscal Year Final Research Report 巻 2009 – 2011, p. 6p., 発行日 2012-05-31 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 近年環境問題の高まりから、現場環境計測技術の重要性が高くなっている。各種の微量濃度のガスを検知するセンサとして、水晶微小天秤法(QCM)は有効な手法である。いくつかの物理気相蒸着法(高周波スパッタリング、蒸着重合、プラズマ支援蒸着重合)により水晶振動子(QCM)電極上に有機薄膜を形成し、揮発性有機溶剤(VOC)のガス吸着特性をQCM法により評価した。本吸着は物理吸着であり、QCM電極上に形成した有機薄膜の極性、及び薄膜の密度に影響されることが分かった。また、低分子量のVOCに対する感度もVOCの官能基に特異性を示し、VOCの簡易検知センサとして応用できる可能性を示した。 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Highly sensitive detection methods for volatile organic compounds(VOCs) are needed in working environment handling the VOCs. The use of a quartz crystal microbalance(QCM) is one such method, and we report on adsorption properties of organic thin films deposited onto the QCM electrode by physical vapor depositions, e. g., vacuum evaporation, plasma-assisted vacuum evaporation and r. f. sputtering, for low molecular weight VOCs. The adsorption phenomenon is considered to be a physical adsorption. Polarization and density of these organic thin films affect adsorption mass of these VOC molecules. In the fluorocarbon thin films sputtered with a Poly(tetrafluoroethylene)(PTFE) target, sensitivities for these aliphatic alcohols were almost the same level, however the sensitivities for acetone were higher than those for these aliphatic alcohols. It is considered that these organic thin films can be used for a sensor of detection of these VOCs. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:21560744, 研究期間(年度):2009 – 2011 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用」課題番号21560744 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-21560744/21560744seika/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=90345603 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=90345603 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-21560744/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-21560744/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-21560744/21560744seika/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/report/KAKENHI-PROJECT-21560744/21560744seika/ | |||||
