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シリコン基板上への不整合界面を制御した誘電体のヘテロエピタキシャル成長
https://doi.org/10.24517/00066925
https://doi.org/10.24517/000669254c0f1a95-a3c4-48ed-bed9-b48df311a214
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-HORITA-S-kaken 2016-1p.pdf (71.5 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2022-08-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | シリコン基板上への不整合界面を制御した誘電体のヘテロエピタキシャル成長 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00066925 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
堀田, 将
× 堀田, 将 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 北陸先端科学技術大学院大学 / 金沢大学工学部 | |||||
| 書誌情報 |
平成4(1992)年度 科学研究費補助金 奨励研究(A) 研究課題概要 en : 1992 Research Project Summary 巻 1992, 発行日 1992-03-31 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:04750246, 研究期間(年度):1992 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「シリコン基板上への不整合界面を制御した誘電体のヘテロエピタキシャル成長」課題番号04750246 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-04750246/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=60199552 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=60199552 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-04750246/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-04750246/ | |||||
