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Nano-structured lithium-tin plane fabrication for laser produced plasma and extreme ultraviolet generation
https://doi.org/10.24517/00067142
https://doi.org/10.24517/000671426c3329f5-18bd-419f-8bb0-ab70d06d0011
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
FR-PR-NAGAI-K-26-497.pdf (293.6 kB)
|
.png)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2022-09-30 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Nano-structured lithium-tin plane fabrication for laser produced plasma and extreme ultraviolet generation | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||
| ID登録 | 10.24517/00067142 | |||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||
| 著者 |
Nagai, Keiji
× Nagai, Keiji× Gu, Q.× Norimatsu, Takayoshi× Fujioka, S.× Nishimura, H.× Miyanaga, N.× Nishihara, Katsunobu× Izawa, Yasukazu× Mima, Kunioki |
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| 著者別表示 |
長井, 圭治
× 長井, 圭治
× 乗松, 孝好
× 井澤, 靖和
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| 提供者所属 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 金沢大学先端科学・社会共創推進機構 | |||||||||||
| 書誌情報 |
Laser and Particle Beams 巻 26, 号 3, p. 497-501, 発行日 2008-08-08 |
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| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 0263-0346 | |||||||||||
| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 1469-803X | |||||||||||
| NCID | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 収録物識別子 | AA10643272 | |||||||||||
| DOI | ||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | 10.1017/S0263034608000517 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | Cambridge University Press | |||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | This paper deals with a lithium/tin combined target to increase the conversion efficiency of extreme ultraviolet (EUV) of 13.5 nm emission from laser-produced plasma. The bilayer target of glass/lithium (20 nm)/tin (50 nm) exhibits a sharp and strong emission in comparison with a Sn bulk target. The reverse coating of glass/tin/lithium was unstable and EUV could not be observed. By using nano-porous SnO2 and an electrochemical deposition of lithium, nano-structured lithium/tin composite was prepared, and was stable without deliquescence of lithium. © 2008 Copyright Cambridge University Press 2008. | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | Copyright © Cambridge University Press 2008 | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | Open Access publishing, CC-BY 4.0 | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://www.cambridge.org/core/journals/laser-and-particle-beams/article/nanostructured-lithiumtin-plane-fabrication-for-laser-produced-plasma-and-extreme-ultraviolet-generation/F79F6689ED5A67CFFC292625393C1FC1 | |||||||||||
| 関連名称 | https://www.cambridge.org/core/journals/laser-and-particle-beams/article/nanostructured-lithiumtin-plane-fabrication-for-laser-produced-plasma-and-extreme-ultraviolet-generation/F79F6689ED5A67CFFC292625393C1FC1 | |||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://www.cambridge.org/core/journals/laser-and-particle-beams/article/nanostructured-lithiumtin-plane-fabrication-for-laser-produced-plasma-and-extreme-ultraviolet-generation/F79F6689ED5A67CFFC292625393C1FC1 | |||||||||||
| 関連名称 | https://www.cambridge.org/core/journals/laser-and-particle-beams/article/nanostructured-lithiumtin-plane-fabrication-for-laser-produced-plasma-and-extreme-ultraviolet-generation/F79F6689ED5A67CFFC292625393C1FC1 | |||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://www.cambridge.org/core/journals/laser-and-particle-beams | |||||||||||
| 関連名称 | https://www.cambridge.org/core/journals/laser-and-particle-beams | |||||||||||
