@techreport{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00061624, month = {Apr}, note = {研究課題/領域番号:62750059, 研究期間(年度):1987, 出典:研究課題「摩擦変動の統計解析に基づくRFスパッタ高分子コーティング膜の摩擦損傷過程の研究」課題番号62750059 (KAKEN:科学研究費助成事業データベース(国立情報学研究所)) (https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-62750059/)を加工して作成, 金沢大学工学部}, title = {摩擦変動の統計解析に基づくRFスパッタ高分子コーティング膜の摩擦損傷過程の研究}, year = {2016} }