@techreport{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00061736, month = {Apr}, note = {研究課題/領域番号:61750058, 研究期間(年度):1986, 出典:研究課題「スパッタリングによる耐熱性プラスチック薄膜の作成とその摺動材料としての応用」課題番号61750058 (KAKEN:科学研究費助成事業データベース(国立情報学研究所)) (https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-61750058/)を加工して作成, 金沢大学工学部}, title = {スパッタリングによる耐熱性プラスチック薄膜の作成とその摺動材料としての応用}, year = {2016} }