@techreport{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00061990,
 month = {Apr},
 note = {研究課題/領域番号59540176, 研究期間(年度):1984, 出典：研究課題「シリコン系アモルファス半導体における水素やフッ素の入り方と欠陥」課題番号59540176
（KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） 
（https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-59540176/）を加工して作成, 金沢大学工学部},
 title = {シリコン系アモルファス半導体における水素やフッ素の入り方と欠陥},
 year = {2016}
}