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高周波スパッタリングで作製した酸化亜鉛圧電薄膜の結晶構造解析と圧電素子への応用
http://hdl.handle.net/2297/00068435
http://hdl.handle.net/2297/0006843518109861-bd40-48c6-8e1c-c427fdbed038
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
YOSHINO-Y20010322full (6.6 MB)
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.png)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2022-12-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高周波スパッタリングで作製した酸化亜鉛圧電薄膜の結晶構造解析と圧電素子への応用 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
吉野, 幸夫
× 吉野, 幸夫 |
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| 著者別表示 |
YOSHINO, Yukio
× YOSHINO, Yukio |
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| 書誌情報 |
博士論文本文Full p. 195p. |
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| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第1908号 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 13301 | |||||
| 学位授与機関名 | 金沢大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2001-03-22 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 博士論文本文Full | |||||
| 権利URI | ||||||
| 権利情報 | http://hdl.handle.net/2297/16347 | http://hdl.handle.net/2297/16347 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
