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  1. B. 理工学域; 数物科学類・物質化学類・機械工学類・フロンティア工学類・電子情報通信学類・地球社会基盤学類・生命理工学類
  2. b 10. 学術雑誌掲載論文
  3. 1.査読済論文(工)

Control of nitrogen atomic density and enthalpy flow into reaction chamber in Ar/N2 pulse-modulated induction thermal plasmas

http://hdl.handle.net/2297/6751
http://hdl.handle.net/2297/6751
702eeed2-1682-48e9-8dad-434a3d56b2a6
名前 / ファイル ライセンス アクション
TE-PR-TANAKA-Y-197.pdf TE-PR-TANAKA-Y-197.pdf (528.4 kB)
Item type 会議発表論文 / Conference Paper(1)
公開日 2017-10-03
タイトル
タイトル Control of nitrogen atomic density and enthalpy flow into reaction chamber in Ar/N2 pulse-modulated induction thermal plasmas
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
資源タイプ conference paper
著者 Tanaka, Yasunori

× Tanaka, Yasunori

WEKO 67
e-Rad 90303263
金沢大学研究者情報 90303263
研究者番号 90303263

Tanaka, Yasunori

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Muroya, Takafumi

× Muroya, Takafumi

WEKO 9826

Muroya, Takafumi

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Hayashi, Kohei

× Hayashi, Kohei

WEKO 9827

Hayashi, Kohei

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Uesugi, Yoshihiko

× Uesugi, Yoshihiko

WEKO 50
e-Rad 90213339
金沢大学研究者情報 90213339
研究者番号 90213339

Uesugi, Yoshihiko

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提供者所属
内容記述タイプ Other
内容記述 金沢大学大学院自然科学研究科電子科学
提供者所属
内容記述タイプ Other
内容記述 金沢大学工学部
書誌情報 IEEE Transactions on Plasma Science

巻 35, 号 2-I, p. 197-203, 発行日 2007-04-01
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0093-3813
DOI
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.1109/TPS.2007.892709
出版者
出版者 Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Simultaneous control of the nitrogen atomic density and the enthalpy flow onto the specimen installed downstream of the plasma torch was accomplished using Ar/N2 pulse-modulated induction thermal plasmas (PMITPs). Such simultaneous control was difficult to realize because the increasing input power into conventional nonmodulation thermal plasmas increases the number density of the nitrogen atoms, but it also increases the enthalpy flow onto the specimen. The behavior of the excited nitrogen atoms was measured through spectroscopic observation. The specimen's surface temperature was measured using a radiation thermometer. Then, the net enthalpy flow onto the specimen was estimated. Results showed that the modulation of coil current increases the time-averaged nitrogen atomic density and decreases the time-averaged enthalpy flow during the modulation cycle onto the specimen irradiated by the Ar/N2 PMITP. This result was confirmed by results from the developed 2-D two-temperature chemical nonequilibrium model of the Ar/N2 PMITP. © 2007 IEEE.
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
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Ver.1 2023-07-28 02:23:41.070006
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