@inproceedings{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00008238, author = {高野, 登 and 広瀬, 幸雄 and 七山, 幸夫}, book = {学術講演会前刷}, month = {May}, note = {金沢大学大学院自然科学研究科}, pages = {161--163}, publisher = {日本材料学会}, title = {超薄膜の応力-ひずみ測定およびき裂発生挙動について(強度特性)}, volume = {40}, year = {1991} }