@article{oai:kanazawa-u.repo.nii.ac.jp:00009116, author = {安達, 正明}, issue = {2015 JSPE Autumn Conference}, journal = {精密工学会学術講演会講演論文集 = JSPE Conference}, month = {Jan}, note = {光軸方向に光路差変動が存在する状況下でも使える,波長変更を用いる粗面物体の3次元形状計測法をこれまで研究してきた.しかし環境によっては極めて激しい空気擾乱も存在する.ここではそのような場合を想定し,干渉計近くにドライヤーを持ち込み20cm程度離れた位置から高温空気を測定面に送り込んだ状態で,3次元形状計測を試み,問題点やその解決方法の検討結果を報告する.}, title = {激しい空気擾乱にも影響されない波長変更干渉計による3次元形状計測法(第2報)}, volume = {2015A}, year = {2015} }