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光路差がランダムに変動する状況下での波長シフト干渉計を用いた粗面の3次元形状計測
http://hdl.handle.net/2297/46737
http://hdl.handle.net/2297/46737c42dd600-8099-44b1-bcd2-24089a4da8a7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-ADACHI-M-384.pdf (3.0 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-11-09 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 光路差がランダムに変動する状況下での波長シフト干渉計を用いた粗面の3次元形状計測 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 3D-shape Measurement of Rough Surface Using Wavelength Shift Interferometer under Unavoidable Random Changes of Optical Path Differences | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
安達, 正明
× 安達, 正明× 佐々木, 祐理 |
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| 書誌情報 |
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 巻 82, 号 4, p. 384-389, 発行日 2016-01-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0912-0289 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN1003250X | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | 10.2493/jjspe.82.384 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | We propose a 3D-shape measurement technique of a rough surface using speckle interferograms captured under ramdom changes of optical path differences. Amounts of the phase shifts between captured interferograms are calculated through Max & Min light intensities searchings at two different pixels in frames and twin normalizations of their intensity changes. The calculated phase shifts which involve random changes over 2π are used to extract phase distribution of a speckle interferogram. After capturing 175 specklegrams which consist of 25 specklegrams at wavelengths of around 778.201nm, 778.217nm, 778.258nm 778.366nm, 778.623nm, 779.151nm and 780.260nm, phase distributions are extracted regarding the first captured interferogram in each wavelength. These distributions normally involve uncertain offsets due to random shifts. After canceling these offsets with the phase data at a base-height pixel selected arbitrarily, the ratios of phase change against wavelength change are extracted at all the pixels. 3D shape is calculated from the extracted ratios. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出版者照会後に全文公開 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | Copyright © 2016 The Japan Society for Precision Engineering 精密工学会 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/jjspe/-char/ja/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||
