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アイテム
熱CVD法によるジルコニア膜合成時の堆積速度の推定
http://hdl.handle.net/2297/23861
http://hdl.handle.net/2297/238616fe16479-1fa2-46d7-9ca7-9c653983cdf7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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TE-PR-KAWANISHI-T-266.pdf (867.9 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2017-10-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 熱CVD法によるジルコニア膜合成時の堆積速度の推定 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Numerical Analysis of Deposition Rates of Zirconium Thin Films by Thermal Chemical Vapor Deposition | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
中村, 静夫
× 中村, 静夫× 林, 良茂× 川西, 琢也× 小松, 利照× 竹内, 昌史 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域自然システム学系 | |||||
| 書誌情報 |
Journal of the Ceramic Society of Japan = 日本セラミックス協会学術論文誌 巻 100, 号 1159, p. 266-271, 発行日 1992-03-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0914-5400 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA12312210 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | The Ceramic Society of Japan = 日本セラミックス協会 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Zirconia films were prepared by the CVD method using thermal decomposition of zirconium-tetra-i-propoxide with He gas under 20 kPa. The films on the substrate consisted of fine particles less than 1μm and were metastable tetragonal-zirconia. The maximum deposition rate was 6 nm/s at 673 K and a reactant gas concentration of 0.05 mol%. The profile of deposition rate was calculated using a simplified reaction and coagulation model. The calculated results showed a good agreement with the experimental data under the operating conditions of 673 K and 0.07 mol%. Deposition rates for the system used are estimated with this model. | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 本文データは日本セラミックス協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.ceramic.or.jp/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110002290170/en/ | |||||
