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インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発
https://doi.org/10.24517/00034626
https://doi.org/10.24517/00034626882af4f3-756c-401c-8a47-4de299d419b6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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TE-PR-UESUGI-Y-kaken 2011-6p.pdf (397.0 kB)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Development of Intelligent RF Induction Plasma Source | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00034626 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
上杉, 喜彦
× 上杉, 喜彦 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域電子情報通信学系 | |||||
| 書誌情報 |
平成22(2010)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 en : 2010 Fiscal Year Final Research Report 巻 2008-2010, p. 6p., 発行日 2011-09-30 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムおよび2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラズマシステムを構築し、その初期性能を確認した。本研究で構築したインテリジェント高周波誘導プラズマ装置を用いて、金属及び高分子蒸気によるプラズマ熱流低減効果に関する実験に適用した. | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | We have developed a temperature controlled RF induction plasma source using a digital signal processor for feedback control and real time calculation of plasma radiation temperature. Experiments on the plasma-wall interactions in plasma applications and fusion plasmas have been done using this newly developed RF induction plasma source. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:20340160, 研究期間(年度):2008–2010 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「インテリジェント高周波誘導プラズマ源の開発」課題番号20340160 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-20340160/20340160seika/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=90213339 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20340160/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-20340160/20340160seika/ | |||||
