| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2017-10-06 |
| タイトル |
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タイトル |
High resonance frequency force microscope scanner using inertia balance support. |
| 言語 |
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言語 |
eng |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| ID登録 |
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ID登録 |
10.24517/00039985 |
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ID登録タイプ |
JaLC |
| 著者 |
Fukuma, Takeshi
Okazaki, Yasutaka
Kodera, Noriyuki
Uchihashi, Takayuki
Ando, Toshio
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| 著者別表示 |
福間, 剛士
古寺, 哲幸
内橋, 貴之
安藤, 敏夫
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| 提供者所属 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
金沢大学 理工研究域 数物科学系 |
| 書誌情報 |
American Institute of Physics
巻 92,
号 24,
p. 243119-243121,
発行日 2008-01-01
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0003-6951 |
| NCID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA00543431 |
| DOI |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.1063/1.2951594 |
| 出版者 |
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出版者 |
American Institute of Physics |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
We have developed the atomic force microscope scanner with the high resonance frequency of 540 kHz in the z axis using a piezosupport mechanism "inertia balance support." In the method, a cubic piezoactuator is supported at the four sides perpendicular to the extension axis, by which the resonance frequency of the scanner remains as high as that of the actuator in the free vibration. The scanner allows driving at low voltage ±15 V for the practical z scan range of 330 nm. We demonstrate the applicability of the scanner to the true-atomic-resolution imaging of mica in liquid. © 2008 American Institute of Physics. |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
SC-PR-ANDO-T-243119.pdf (241.9 kB)
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