WEKO3
アイテム
窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御
https://doi.org/10.24517/00054055
https://doi.org/10.24517/00054055317512b6-65cc-4b60-89e4-eb30481b1000
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-UESUGI-Y-kaken 2019-4p.pdf (624.7 kB)
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.png)
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| アイテムタイプ | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-04-17 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Suppression of Hydrogen Isotope Absorption into Co-deposited Layer by using Nitrogen Scavenger | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00054055 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
上杉, 喜彦
× 上杉, 喜彦 |
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| 書誌情報 |
平成30(2018)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 en : 2018 Fiscal Year Final Research Report 巻 2016-04-01 - 2019-03-31, p. 4p., 発行日 2019-06-18 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 金沢大学理工研究域電子情報通信学系 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 本研究では，核融合炉の遠隔領域における不純物再堆積過程と水素粒子の共堆積膜形成を模擬できる実験系を整備し，生成膜中に吸蔵される水素粒子量を評価・分析することで，水素同位体吸蔵を抑制する手法の開発を行い以下の成果を得た．(1)SUS304を不純物源とした場合、水素プラズマ中にガス不純物として窒素やメタンを導入しHCN/DCNやNHx/NDx等の揮発性ガス分子を生成することが共堆積膜中の水素吸蔵量を低減することに有効であることを示した．(2)窒素不純物を導入した場合，タングステン共堆積膜では表面に窒化タングステン層による拡散障壁バリアー層が形成される事が原因と考えられる水素吸蔵量の増加が見られた． | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Nitrogen addition into remote edge plasmas has been considered and tested as an effective method for suppression of carbon film deposition and reduction of hydrogen isotope absorption in the deposited films. The effects of nitrogen addition on the hydrogenated carbon film deposition and hydrogen isotope absorption, “scavenger effect”, were studied using toroidal rf plasmas with D-C-N reactive species with metal impurities, such as Fe and W. Main results are summarized as follows, (1)In the case of stainless steel materials as an impurity source, simultaneous addition of C and N as scavenger particles works well to reduce the H/D absorption effectively by generating volatile HCN/DCN and NHx/NDx molecular particles, (2)When N is introduced on to tungsten co-deposited films, the amount of H/D absorption increased due to the surface barrier formation on the W films by Tungsten nitride formation on the surface. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:16H04618, 研究期間(年度):2016-04-01 - 2019-03-31 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：「窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御」研究成果報告書 課題番号16H04618 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-16H04618/16H04618seika/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=90213339 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=90213339 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H04618/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H04618/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-16H04618/16H04618seika/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-16H04618/16H04618seika/ | |||||
