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高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明
https://doi.org/10.24517/00060097
https://doi.org/10.24517/00060097d859ce2d-3430-478b-8d1c-008aeb5b0be3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
SC-PR-ISHIJIMA-T-kaken 2019-2p.pdf (184.4 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2020-12-21 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00060097 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Creation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions | |||||
| 著者 |
石島, 達夫
× 石島, 達夫 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 金沢大学サステナブルエネルギー研究センター | |||||
| 書誌情報 |
平成25(2013)年度 科学研究費補助金 新学術領域研究(研究領域提案型) 研究実績の概要 en : 2013 Research Project Summary 巻 2012-04-01 – 2014-03-31, p. 2p., 発行日 2019-07-29 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 液中プラズマと高分子表面との相互作用は、固体・液体・気体・プラズマが時間的、空間的に近接して存在し作用する重相構造プラズマの実験系であり極めて複雑である。そのため、液体との相互作用を用いた反応場を安定かつ制御性よく調査するためのプラズマ生成装置が重要である。新たに開発した方式により扁平プラズマを水中気泡内に生成させ高分子表面へプラズマ照射しナノ界面現象の調査を行った。高分子材料には半導体プロセス工程で用いられる種々のレジスト材料を取り扱った。また高分子材料に対するナノ界面の反応現象を検討するために、レジスト材料に高密度・高エネルギーのイオン注入を行うことで界面でのレジスト材のナノ構造を能動的に変えることにより影響を調査した。 ノボラック樹脂をベースとするレジスト膜に、様々なエネルギー、注入密度でイオン注入を行った。一般に、イオン注入されたレジスト材料は硬化し除去が困難となることが知られている。注入イオン種の質量が大きくなるほどアッシング速度が減少するものの、ある一定の厚みのレジストが除去されるとアッシング速度が増加することが分かった。また、過去に研究された湿潤オゾン照射や水素ラジカル照射時のレジストとの表面反応に関わる研究成果より、注入イオン種の質量の違いによってレジスト材の膜厚方向に対する分布が異なることが分かっている。本研究で行った液中プラズマ照射において、アッシング速度が変化するレジスト層の厚さは、レジスト材料が硬化すると推定される膜厚とほぼ一致することから、高分子ナノ界面での反応速度は高分子の架橋により硬化する度合いに強く依存することが明らかとなった。またマイクロ波励起の液中プラズマによる固体表面の高分子膜の除去速度は、常温環境であるにも関わらず従来の手法と比べて極めて速いことが分かった。重相構造プラズマ環境がナノ界面反応を促進しているものと考えられる。 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:24110707, 研究期間(年度):2012-04-01 – 2014-03-31 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：「高分子表面への液中プラズマ照射により発現する界面反応場の解明」研究成果報告書 課題番号24110707 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PUBLICLY-24110707/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=00324450 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?kw=00324450 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PUBLICLY-24110707/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PUBLICLY-24110707/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-AREA-2109/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-AREA-2109/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-AREA-2109/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-AREA-2109/ | |||||
