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エキシマレ-ザによる酸化物高温超伝導薄膜の低温作製と評価
https://doi.org/10.24517/00067297
https://doi.org/10.24517/00067297d6022954-c5a5-4d8d-b303-dc98c77e8c40
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-SHIMIZU-T-kaken 2016-2p.pdf (146.1 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2022-11-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | エキシマレ-ザによる酸化物高温超伝導薄膜の低温作製と評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00067297 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
清水, 立生
× 清水, 立生 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 金沢大学工学部 | |||||
| 書誌情報 |
平成2(1990)年度 科学研究費補助金 重点領域研究 研究課題概要 en : 1990 Research Project Summary 巻 1990, p. 2p., 発行日 2016-04-21 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 我々はエキシマレ-ザを用いたレ-ザアブレ-ション法において、基礎的な推積機構を明らかにすると共に、種々の活性化法を用い良好な酸化物高温超伝導薄膜を作製することを、主な目的として掲げてきた。今年度は、第1のテ-マとして、その薄膜成長表面への第2パルスレ-ザ照射効果を中心に、主に薄膜の温度過渡応答のレ-ザ波長、パルス幅依存性を数値計算により調べ、最高照射条件を行った。また実際に、エキシマレ-ザの替わりにYAGレ-ザを用いて、照射実験を行った。一方第2のテ-マとして、本推積法の基礎過程と密接な関連を有するものと考えられる液滴状粒子の生成とレ-ザエネルギ-密度との関連を調べた。 本年度の研究成果として以下の事項があげられる。 1.薄膜成長表面上への第2パルスレ-ザ照射効果 (1)成長薄膜表面においてレ-ザ照射による温度分布の過渡応答を数値計算し、照射に用いるパルスレ-ザの波長およびパルス幅を最適化する必要のあることを示した。 (2)薄膜成長表面へのYAGレ-ザ照射(波長266nm)により、膜表面平滑性及び超伝導特性を改善できることを示した。当該波長では酸素の解離はあまり期待されず、超伝導特性の改善はその他の推積粒子の電子励起や成長表面の温度上昇によるものと思われる。 2.レ-ザアブレ-ション時のレ-ザエネルギ-密度を最適化する事により、基板上での液滴状粒子の生成を抑制することができた。 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:02227101, 研究期間(年度):1990 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「エキシマレ-ザによる酸化物高温超伝導薄膜の低温作製と評価」課題番号02227101 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-02227101/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=30019715 | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=30019715 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-02227101/ | |||||
| 関連名称 | https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-02227101/ | |||||
