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MD法によるDLC薄膜の機械的特性の評価: 圧子押込み特性の解析による硬さの評価
http://hdl.handle.net/2297/39332
http://hdl.handle.net/2297/393327394d48c-e92d-4cce-aa85-71820887262c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-UEDA-T-1735.pdf (8.3 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | MD法によるDLC薄膜の機械的特性の評価: 圧子押込み特性の解析による硬さの評価 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Evaluation of Mechanical Properties of DLC Film with Molecular Dynamics Simulation | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
山田, 啓司
× 山田, 啓司× 上田, 隆司× 上野, 康晴× 舟田, 義則× 粟津, 薫× 杉田, 忠彰 |
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| 書誌情報 |
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering 巻 63, 号 12, p. 1735-1740, 発行日 1997-12-05 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0912-0289 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN1003250X | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | 10.2493/jjspe.63.1735 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | In order to evaluate the mechanical properties of diamond-like carbon(DLC) thin films formed on the substrate of single crystal copper or aluminum by EBD, the indentation test using Vickers diamond is carried out both in an ultramicro hardness tester and in a computer. Experimental results obtained are compared with those obtained by MD simulation. The natural vibration of carbon atoms in DLC model made by MD simulation using Tersoff potential energy coincides well with the Raman spectra of the DLC film which is measured to characterize the structure. MD simulation makes it possible to observe the mechanical phenomena occurred in the DLC film in the order of atomic scale during the indentation process, and to determine the raw hardness of DLC thin film by means of subtracting the influence of the substrate from the experimental result. | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | Copyright © 2007 The Japan Society for Precision Engineering 精密工学会 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/jjspe | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110001372183 | |||||
