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振動下でも使用できる超高精度3次元形状計測技術の開発
https://doi.org/10.24517/00034587
https://doi.org/10.24517/0003458790930845-be38-4e75-bfb4-8f7a2e7baaf3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-ADACHI-M-kaken 2012-6p.pdf (448.3 kB)
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.png)
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| Item type | 報告書 / Research Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 振動下でも使用できる超高精度3次元形状計測技術の開発 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Ultrahigh-precision 3D-shape measurement technique usable under vertical vibration | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| 資源タイプ | research report | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.24517/00034587 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
安達, 正明
× 安達, 正明 |
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| 提供者所属 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域機械工学系 | |||||
| 書誌情報 |
平成23(2011)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 en : 2011 Fiscal Year Final Research Report 巻 2009-2011, p. 6p., 発行日 2012-04-04 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 振動下にある垂直走査型干渉計の光路差変化をレーザでリアルタイムかつ高速高精度に計測する手法を開発し,変化情報を基に一定の位相変化終了後毎にLED光を瞬間点灯させ干渉縞を撮影した.この手法で計測した形状結果を分析しさらなる高精度化には点灯 & 露光中に加わる振動もその影響を補正する必要を見出し,露光中の光路差変化履歴を基に振動影響を補正して位相を抽出する方法も開発し,その効果を実験で確認した. | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | We have developed a new measurement technique for nm-level change of an optical-path-deference(OPD) using laser. This technique can measure OPD of a vertical-scan interference microscope real time and high speed. With the technique we can trigger LED flashings and interferogram exposures right after predefined phase changes even under vertical vibrations. Analyzing the measured 3D-shape obtained with the technique results in that affects of vibration during the exposure should be corrected for higher precision shape measurement. Then we have developed another technique which can extract interference phase just on the exposure-start moment from vibration-affected interferogram intensities and history of OPD changes during the exposure. Validity of the developed technique is proved by experiments using the vertical-scan interference microscope with intentionally generated pulse-like vibration. | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 研究課題/領域番号:21360115, 研究期間(年度):2009–2011 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 出典：研究課題「振動下でも使用できる超高精度3次元形状計測技術の開発」課題番号21360115 （KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）） （https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-21360115/21360115seika/）を加工して作成 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=50212519 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360115/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-21360115/21360115seika/ | |||||
