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二波長光干渉式三次元形状計測装置
https://doi.org/10.24517/00049981
https://doi.org/10.24517/00049981e1f89c2c-5ead-42bb-92ca-a0371e467922
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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TE-PR-ADACHI-M-1261.pdf (402.2 kB)
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.png)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-05-23 | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | 二波長光干渉式三次元形状計測装置 | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | Three Dimension Sureface Measurement System using Interferometry with Two wavelength of Light | |||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||
| ID登録 | 10.24517/00049981 | |||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||
| 著者 |
五十島, 一興
× 五十島, 一興× 安達, 正明× 斎藤, 潤二× 嶋, 一史× 中山, 彰× 山宮, 広之× 小林, 友博× 杉森, 博× 谷, 浩之 |
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| 著者別表示 |
Isojima, Kazuoki
× Isojima, Kazuoki
× Saitoh, Junji
× Shima, Kazufumi
× Nakayama, Akira
× Adachi, Masaaki
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| 提供者所属 | ||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域機械工学系 | |||||||||||||||
| 書誌情報 |
精密工学会学術講演会講演論文集 en : 2004 JSPE Spring Meeting 巻 2004 Spring, 号 N63, p. 1261-1262, 発行日 2004 |
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| NCID | ||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||
| 関連識別子 | BA90159927 | |||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||
| 関連識別子 | 10.11522/pscjspe.2004S.0.782.0 | |||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||
| 出版者 | 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering | |||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||
| 内容記述 | 白色干渉を応用した三次元形状計測装置を開発した.測定法は,物体と参照鏡が作る干渉縞の位相とコントラストから形状を高精度に算出する位相シフト法を用い,位相シフト量を2n π±π /2(n:自然数)とすることにより,高速化を実現した.光源として波長の異なる2つのLEDを使用し,交互に点灯させそれぞれの波長の干渉像を取り込み,取り込んだ画像から形状を測定する.また,高精度で長ストロークな移動ステージを搭載することにより,高速・高精度な形状測定を目指す. | |||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||
| 内容記述 | 出版者照会後に全文公開 | |||||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright © The Japan Society for Precision Engineering | |||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||
| 関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ | |||||||||||||||
| 関連名称 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ | |||||||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||
| 関連識別子 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||||||||||||
| 関連名称 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||||||||||||
