WEKO3
インデックスリンク
アイテム
超微細ダイヤモンド粘弾性砥石によるシリコンウエハの研磨
https://doi.org/10.24517/00050019
https://doi.org/10.24517/0005001969f02058-32ef-4b09-8c78-7d1f9ed771f1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-KUROBE-T-247.pdf (104.8 kB)
|
.png)
|
| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-15 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 超微細ダイヤモンド粘弾性砥石によるシリコンウエハの研磨 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Polishing of silicon wafer using fine diamond wheel | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||
| ID登録 | 10.24517/00050019 | |||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||
| 著者 |
黒部, 利次
× 黒部, 利次× 森田, 知之× 山本, 資治 |
|||||||||||
| 著者別表示 |
Kurobe, Toshiji
× Kurobe, Toshiji
× Morita, Tomoyuki
× Yamamoto, Motoharu
|
|||||||||||
| 提供者所属 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域機械工学系 | |||||||||||
| 書誌情報 |
精密工学会学術講演会講演論文集 en : 2003 JSPE Autumn Meeting 巻 2003 Autumn, 号 F06, p. 247-247, 発行日 2003 |
|||||||||||
| NCID | ||||||||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||||||||
| 関連識別子 | BA90159927 | |||||||||||
| DOI | ||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | 10.11522/pscjspe.2003A.0.306.0 | |||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering | |||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | 平均粒径5nmのダイヤモンドを用いて電気泳動法により粘弾性砥石を作製し，それを用いてシリコンウエハの精密研磨加工を行った.その結果，砥石は研磨能力を有していることが明らかとなった. | |||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 出版者照会後に全文公開 | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | Copyright © The Japan Society for Precision Engineering | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ | |||||||||||
| 関連名称 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ | |||||||||||
| 関連URI | ||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||
| 関連識別子 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||||||||
| 関連名称 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||||||||
