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Propagation loss of amorphous silicon optical waveguides at the 0.8 µm-wavelength range
https://doi.org/10.24517/00008160
https://doi.org/10.24517/000081605493664a-887e-4627-8bb7-b9e85109ffdc
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-MARUYAMA-T-269.pdf (452.0 kB)
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.png)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-03 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Propagation loss of amorphous silicon optical waveguides at the 0.8 µm-wavelength range | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.24517/00008160 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
| 著者 |
Asukai, Takahiro
× Asukai, Takahiro× Inamoto, Makoto× Maruyama, Takeo× Iiyama, Koichi× Ohdaira, Keisuke× Matsumura, Hideki |
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| 著者別表示 |
丸山, 武男
× 丸山, 武男
× 飯山, 宏一
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| 提供者所属 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 金沢大学理工研究域電子情報学系 | |||||||||
| 書誌情報 |
IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 号 5643356, p. 269-271, 発行日 2010-01-01 |
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| DOI | ||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||
| 関連識別子 | 10.1109/GROUP4.2010.5643356 | |||||||||
| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | IEEE = Institute of Electrical and Electronics Engineers | |||||||||
| 抄録 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||
| 内容記述 | We fabricated optical waveguides using amorphous silicon deposited by catalytic chemical vapor deposition method. The waveguides were fabricated by photolithography and wet chemical etching. The propagation loss of 15 dB/cm at 830 nm was measured. ©2010 IEEE. | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| 関連URI | ||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||
| 関連識別子 | http://ieeexplore.ieee.org/xpl/freeabs_all.jsp?arnumber=5643356 | |||||||||
