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ハロゲン光干渉像からの高精度位相抽出
http://hdl.handle.net/2297/45025
http://hdl.handle.net/2297/4502543c59dcf-67f4-4be4-b369-15b637e1e14c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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TE-PR-ADACHI-M-751.pdf (853.2 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ハロゲン光干渉像からの高精度位相抽出 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | High-precision phase extraction from interferograms of a halogen lamp | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
安達, 正明
× 安達, 正明 |
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| 書誌情報 |
精密工学会学術講演会講演論文集 巻 2010A, 号 L09, p. 751-752, 発行日 2010-01-01 |
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| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | 10.11522/pscjspe.2010A.0.751.0 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 微細段差構造物の３Ｄ形状測定には多数枚のインコヒーレント干渉像を用いた位相抽出が行われる．しかし，光路差によってモジュレーションが異なる干渉縞を前提にした位相シフト法の提案は過去にほとんど無く，我々は新しい方法をコンピュータシミュレーションを用いて探し出している．この方法がどんな状況下で他の広く用いられている方法に対して効果的に働くかを実際にカメラで取り込んだハロゲン光干渉像を用いて検証した． | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | Copyright © The Japan Society for Precision Engineering | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/pscjspe/-char/ja/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||
