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  1. H-4. 設計製造技術研究所
  2. h-4 10. 学術雑誌掲載論文
  3. 1. 査読済論文

CO2パルスレーザによるサファイアウエハの熱応力割断

https://doi.org/10.24517/00008934
https://doi.org/10.24517/00008934
dd5e4b70-477c-4a4f-ae7e-83c823c4918f
名前 / ファイル ライセンス アクション
TE-PR-UEDA-T-424.pdf TE-PR-UEDA-T-424.pdf (955.8 kB)
license.icon
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2017-10-03
タイトル
タイトル CO2パルスレーザによるサファイアウエハの熱応力割断
タイトル
タイトル Journal of the Japan Society for Abrasive Technology
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
ID登録
ID登録 10.24517/00008934
ID登録タイプ JaLC
著者 上田, 隆司

× 上田, 隆司

WEKO 10422
e-Rad 60115996
研究者番号 60115996

上田, 隆司

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三野, 大樹

× 三野, 大樹

WEKO 12725

三野, 大樹

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古本, 達明

× 古本, 達明

WEKO 269
e-Rad 60432134
金沢大学研究者情報 60432134
研究者番号 60432134

古本, 達明

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細川, 晃

× 細川, 晃

WEKO 280
e-Rad 60432134
金沢大学研究者情報 40199493
研究者番号 40199493

細川, 晃

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長友, 正平

× 長友, 正平

WEKO 12726

長友, 正平

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著者別表示 Ueda, Takashi

× Ueda, Takashi

Ueda, Takashi

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Furumoto, Tatsuaki

× Furumoto, Tatsuaki

Furumoto, Tatsuaki

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Hosokawa, Akira

× Hosokawa, Akira

Hosokawa, Akira

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書誌情報 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers

巻 55, 号 7, p. 424-426, 発行日 2011-01-01
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0914-2703
DOI
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.11420/jsat.55.424
出版者
出版者 砥粒加工学会 = The Japan Society for Abrasive Technology
抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 CO2パルスレーザを用いて単結晶のサファイアウエハの熱応力割断を試みている.レーザ割断はサファイアウエハを分断する方法として有力な加工法である.パルスレーザを用いると,割断面には単結晶ウエハに特有な縞模様が形成される.曲線割断が可能であり,円弧状にサファイアウエハを割断できる.ウエハ上に加工された浅い溝の上をCO2パルスレーザでなぞることによって,ウエハを割断できる.Single-crystal sapphire wafers were cleaved by irradiation with a pulsed CO2 laser. Laser cleaving is a useful method to cut sapphire wafers. A striped pattern on the cleaved surface is observed when a pulsed laser is used. Laser cleaving makes it possible to cut the sapphire along the circular arc. Sapphire wafers can be cleaved by laser irradiating along a pre-made shallow groove.
権利
権利情報 Copyright © 2011 社団法人 砥粒加工学会 The Japan Society for Abrasive Technology
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
関連URI
識別子タイプ URI
関連識別子 http://www.jsat.or.jp/
関連URI
識別子タイプ URI
関連識別子 http://www.jsat.or.jp/journal/journal.jsp
関連URI
識別子タイプ URI
関連識別子 https://www.jstage.jst.go.jp/browse/jsat/-char/ja/
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Ver.1 2023-07-27 10:31:48.897460
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