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上下振動の影響を受けない高精度粗さ測定法(第1報): オプティカルスキッド法の提案
http://hdl.handle.net/2297/42414
http://hdl.handle.net/2297/4241433c28f1f-a024-4545-bc81-403a8507f511
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
TE-PR-ADACHI-M-140.pdf (1.1 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 上下振動の影響を受けない高精度粗さ測定法(第1報): オプティカルスキッド法の提案 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Precision Profiling Method Insensitive to Vertical Vibrations (1st Report): A Proposition of an Optical Skid Method | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
安達, 正明
× 安達, 正明× 三木, 秀司× 中井, 康秀× 川口, 格 |
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| 書誌情報 |
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering 巻 56, 号 1, p. 140-145, 発行日 1990-01-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0912-0289 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN1003250X | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | 10.2493/jjspe.56.140 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | A novel optical profiling method is proposed, which is nearly insensitive to vertical vibrations and able to measure the roughness of supersmooth surfaces on a long track. This method makes simultaneous height measurements of both a measurement position and its surroundings and perform subsequent digital subtraction of the latter from the former to obtain the roughness data. An instrument incorporated with this method is shown to have a height sensitivity of 0.1 nm under normal vibrational circumstance (0.4 cm/S2). Data obtained from measurements of a disk substrate, a mirror, an optical flat and a silicon wafer are included. | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | Copyright © The Japan Society for Precision Engineering 精密工学会 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://www.jstage.jst.go.jp/browse/jjspe/-char/ja/ | |||||
| 関連URI | ||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://www.jspe.or.jp/ | |||||
